לאחרונה, הלשכה למדע וטכנולוגיה וטכנולוגיית מידע של אזור ההיי-טק של כדור הארץ הנדיר ביצעה את הבקשה לפרויקט "תוכנית פעולה תוכנית פעולה לחדשנות מדע וטכנולוגיה של נוער ארגוני '1+1'. 

לאחר הסקירה, נקבע לבסוף ש-Baotou Rare Earth Research Institute ו-Baotou Zhongke Yuhang Polishing Material Co., Ltd. (7 מפעלים ויחידות כולל Zhongke Yuhang יספקו תמיכה בפרויקט. בתחילת שנה זו, Zhongke Yuhang הודיעה כי החברה בנתה קו ייצור עם תפוקה שנתית של 6,000 טון של אבקת ליטוש אדמה נדירה, ושברה את המונופול של חברות זרות בשוק אבקות הליטוש היוקרתיות במכה אחת.

חומרי הליטוש של ארצי צריכים בדחיפות להיות ברמה גבוהה

בשנים האחרונות, ככל שתעשיית ה-LCD ממשיכה לצמוח, אבקות ליטוש LCD בעלות ביצועים גבוהים התפתחו במהירות. הונג גואנגיאן, מומחה ידוע בארצי ופרופסור באקדמיה הסינית למדעים, אמר כי חומרי ליטוש אדמה נדירים מהווים חלק גבוה מצריכת האדמה הנדירה במדינות מפותחות תעשייתיות ונעשה בהם שימוש נרחב בתחום ליטוש של זכוכית אופטית, מצעי זכוכית קריסטל נוזלית ולוחות זכוכית למסך מגע.

ליטוש מתייחס לשימוש בשיטות מכניות, כימיות או אלקטרוכימיות כדי להפחית את חספוס פני השטח של חומר העבודה כדי לקבל משטח בהיר וחלק. ליטוש כימי ומכני מוכר כיום כטכנולוגיה אידיאלית לפתרון בעיית יישור פני השטח.

לדברי Zhang Hailong, המנהל הכללי של Yuhang Zhongke, השימוש המקומי הנוכחי באבקת ליטוש גדל מפחות מ-40 טון בשנות ה-1980 ליותר מ-20,000 טון.

"כיום, חברות אבקת ליטוש ביפן ובדרום קוריאה קונות אבקות ליטוש בדרגות נמוכות ובינוניות מסין כחומרי גלם, ולאחר מכן משתמשות בטכנולוגיה שלהן לייצור אבקות ליטוש ברמה גבוהה, המיוצאות לסין, אירופה וארה"ב. ומדינות אחרות, מרוויחים רווחים גבוהים. רוב אבקות הליטוש היוקרתיות המשמשות בסין מיובאות מיפן ודרום קוריאה." אמר וואנג הונגיאן, מנהל מחלקת המו"פ של Yuhang, לכתבים.

על מנת לשנות את המצב לאחור של חומרי ליטוש אדמה נדירים, ארצי ערכה את "תוכנית פיתוח תעשיית אדמה נדירה (2016-2020)" (להלן "התכנית"). ה"תכנית" ציינה בבירור: "יש צורך לפתח אבקת ליטוש אדמה נדירה ונוזל ליטוש אדמה נדירה בעלת ביצועים גבוהים, והמוצרים מגיעים או מתקרבים לרמה המתקדמת הבינלאומית, ועומדים בדרישות היישום של גביש נוזלי, פרוסות סיליקון, ליטוש מצע זכוכית בדרגה גבוהה ויישומים אחרים."

האוריינטציה המדיניות ברורה מאוד, אבל מצב הפיתוח של חומרי ליטוש במדינה שלי אינו אופטימי. הונג גואנגיאן הציגה שלרוב מפעלי ייצור אבקת אדמה נדירים במדינה שלי יש תהליכים פשוטים ונחשלים, ציוד פשוט יחסית ושיטות ייצור שונות, שקשה לענות על הביקוש המקומי לחומרי ליטוש אדמה נדירים בעלי ביצועים גבוהים.

"מושפע מהפיגור בתהליך הייצור של אבקת ליטוש אדמה נדירה במדינה שלי, הפיתוח של אבקת ליטוש אדמה נדירה בסין נמצא בפיגור רציני בתחום היוקרתי, ופיתוח תעשיית אבקת ליטוש אדמה נדירה ומורד הזרם גם תעשיות מוגבלות". הונג גואנגיאן אמר כי באופן כללי, ייצור חומרי ליטוש אדמה נדירים יש לחזק עוד יותר את הצורה המגוונת של המדינה.

תפקידם של חומרי ליטוש

עם ההתפתחות המהירה של תעשיית המוליכים למחצה, גודלם של המכשירים האלקטרוניים הולך וקטן, והדרישות למישור פני השטח של פרוסת חומר הגלם המוליכים למחצה הולכות וגדלות אף הן, ומגיעות לרמת הננומטר.

טכניקות הפלנריזציה המסורתיות עבור פרוסות טיפול שטח כוללים שיטת זרימת חום, שיטת זכוכית מסתובבת, שיטת צריבה, שיקוע סלקטיבי וכו', אך אלה יכולים להשיג רק פלנריזציה מקומית ואינם יכולים להשיג פלניזציה גלובלית.

ליטוש כימי מכני (CMP) יכול לא רק לבצע טיפול מקומי על פני השטח של פרוסת הסיליקון, אלא גם ליישר את כל פני השטח של פרוסת הסיליקון. זוהי כרגע הטכנולוגיה היחידה שיכולה לקחת בחשבון גם תכנון פני השטח הגלובלי והמקומי.

זה יכול לשטח אזורים לא אחידים על משטח הוופל. זוהי טכנולוגיה המשלבת פעולה כימית ומכאנית, המאפשרת ליצרני שבבים להמשיך לצמצם את שטח המעגל ולהרחיב את הביצועים של כלי ליתוגרפיה. הייצור של כל רקיק דורש ליטוש CMP מרובה של הפרוסה כדי להתממש.

מצב שוק של חומרי ליטוש CMP

מאז ש-IBM יישמה ליטוש כימי מכני (CMP) לייצור שבבי 4MDRAM ב-1988, תהליכי ייצור מעגלים משולבים הסתמכו בהדרגה על טכנולוגיית CMP, בעיקר בשל מזעור ממדי תכונות המכשיר (CD). והחיווט הרב-שכבתי שהוצג על ידי שדרוג טכנולוגי והופעתם של כמה חומרים חדשים.

על פי נתוני SEMI, מ-2014 עד 2020, שוק חומרי הליטוש CMP העולמי גדל מ-1.57 מיליארד דולר ל-2.48 מיליארד דולר, עם שיעור צמיחה שנתי מורכב (CAGR) של כ-8%. ביניהם, שוק חומרי הליטוש CMP המקומי יעמוד על כ-3.2 מיליארד יואן בשנת 2020, וקצב הצמיחה המתחם בחמש השנים האחרונות יישאר על כ-10%.

תרשים סכמטי של ליטוש מכני כימי טיפוסי:

שרשרת תעשיית החומרים CMP

חומרי ליטוש CMP ממוקמים במעלה הזרם של השרשרת התעשייתית, כאשר האמצעים שלה הם עיבוד פרוסות וייצור שבבים, והמורדים הם יישומי טרמינלים כגון מחשבים, תקשורת, אלקטרוניקה לרכב ובקרה תעשייתית רפואית.

הציוד והחומרים המתכלים המשמשים בתהליך ה-CMP כוללים: מכונת ליטוש, נוזל ליטוש, רפידת ליטוש, ציוד ניקוי לאחר CMP, ציוד זיהוי נקודות קצה ובקרת תהליך ליטוש, ציוד לטיפול וגילוי פסולת וכו'.

ביניהם, נוזל ליטוש ורפידת ליטוש הם חומרי הליבה של תהליך ה-CMP, וערכם מהווה 49% ו-33%, בהתאמה, וצריכתם עולה עם העלייה בתפוקת הפרוסים ומספר שלבי תהליך ה-CMP.

עם התקדמות הצמתים הטכנולוגיים, תהליך ה-CMP יתמודד עם אתגרים קשים יותר ב-14nm, 10nm, 7nm, 5nm ועוד צמתי תהליך מתקדמים יותר, ויוצגו דרישות טכניות גבוהות יותר לחומרי ליטוש, במיוחד נוזלי ליטוש.

נוזל ליטוש: הגורם המכריע של טכנולוגיית CMP

שוק נוזלי הליטוש מהווה 3 עד 4% מכלל החומר המוליך למחצה.

נוזל ההברקה הוא חומר ליטוש מסיס במים ללא כל תוספי גופרית, זרחן וכלור, הממלא בעיקר את תפקיד הליטוש, השימון והקירור. זהו אחד הגורמים המכריעים בטכנולוגיית CMP, וביצועיו משפיעים ישירות על איכות פני השטח של חומר העבודה המעובד ועל יעילות עיבוד הליטוש.

מנקודת המבט של מבנה השוק העולמי של נוזלי ליטוש, ישנם בעיקר 7-8 ספקים גלובליים גדולים.

במשך זמן רב, שוק נוזלי הליטוש הכימי-מכני העולמי היה מונופול על ידי חברות אמריקאיות ויפניות. ה-TOP3 של שוק נוזלי הליטוש העולמי הם: לקאבוט יש נתח שוק של 33%, להיטאצ'י יש נתח שוק של 13% ול-Fujimei נתח שוק של 10%. ביניהם, לקאבוט יש את נתח השוק הגבוה ביותר בשוק נוזלי הליטוש העולמי, אך הוא ירד מכ-80% בשנת 2000 לכ-36% בשנת 2019, מה שמעיד על כך ששוק נוזלי הליטוש העולמי מתפתח בכיוון מגוון ובעצמי האזורי. -שיעור הספיקות עולה.

נכון להיום, שיעור הלוקליזציה נמוך מ-10%, והביקוש ללוקליזציה של נוזל ליטוש גדול מאוד. כיום ישנם עשרות מפעלים מקומיים המבוססים על תעשיית נוזלי הפוליש, אך רובם מייצרים מוצרים ברמה נמוכה, ורובם עדיין בשלב ייצור נוזלי ליטוש 4 אינץ' ו-6 אינץ'.

Anji Microelectronics היא הספק המקומי היחיד שיכול לספק נוזל ליטוש IC בגודל 12 אינץ'. מוצריה קרובים לרמה הגבוהה ביותר בעולם, והם הראשונים לשבור מחסומים טכניים זרים. חמשת הלקוחות המובילים של החברה, SMIC, TSMC, Yangtze River Storage, China Resources Microelectronics והואה הונג גרייס הם כולם יצרני מעגלים משולבים מובילים בעולם או מקומי.

קאבוט צופה שמכירות שוק נוזלי הליטוש בסין יגדלו ממיליארד יואן הנוכחי ל-1 מיליארד יואן עד 2.9. שוק נוזלי הליטוש המקומי יגדל ל-CAGR של 2025%, שהוא הרבה יותר גבוה מהממוצע העולמי של 16 עד 6%. . .

חדשנות טכנולוגית ליצירת חומרי ליטוש איכותיים

עם הצמיחה המהירה של הכלכלה העולמית, גם תעשיית כדור הארץ הנדירה של ארצי התפתחה במהירות, אך היישום של לנתנום וצריום, שהם המרכיבים העיקריים של מכרות אדמה נדירות אור צפוני, לא עשה התקדמות פורצת דרך, ומחירי הלנתנום ומוצרי צריום מרחפים ברמות נמוכות.

"כיום, תחומי היישום העיקריים של מוצרי הלנתנום והצריום בחו"ל הם עדיין בתעשיית השחזה של הזכוכית, אותה ניתן לחלק לטחינה תעשייתית וטחינה אזרחית מבחינת המשנה". אמר וואנג הונגיאן.

"פיתוח יישומי הטכנולוגיה במורד הזרם של כדורי אדמה נדירים של לנתנום וצריום, הרחבת תחומי היישום היוקרתיים של כדורי אדמה נדירים, וקידום הפיתוח של תעשיות המוליכים למחצה והמידע של ארצי הם היעדים שלנו." אמר ג'אנג היילונג.

לשם כך הקימה מונגוליה הפנימית פרויקט פיתוח ותיעוש חומרי ליטוש אדמה נדירים, הקובע את השיטה הבסיסית להכנת חומרי ליטוש cerium oxide בעלי ביצועים גבוהים תוך שימוש בפחמתי אדמה נדירה כחומרי גלם, והוספת חומרי עזר מתאימים לשיפור חומרי הליטוש. בתהליך המאפיינים והכדוריות של פני השטח של, בתוספת שיטות מתאימות לאחר טיפול ושינוי פני השטח להכנת חומר ליטוש חדש בעל ביצועים גבוהים של תחמוצת cerium עם ביצועי ליטוש מעולים.

וואנג הונגיאן הציג כי הם התחייבו והשלימו את הפרויקט הזה, תוך שימוש בטכנולוגיית הכדוריות הסלקטיבית של אבקת מבשר בפעם הראשונה כדי לשלוט בפוטנציאל פני השטח של החלקיקים ולשפר את המורפולוגיה והפיזור של האבקה. הם השתמשו במים ובקרבונט צריום ישירות כחומרי גלם, שינו אותם על ידי תגובה מכנוכימית והוסיפו מלחים אינרטיים להכנת חומרים שוחקים בעלי ביצועים גבוהים של 20-50 ננומטר, שהם בעלות נמוכה, קלים לתפעול ובעלי סיכויי תיעוש רחבים.

נכון להיום, השלב הראשון של הפרויקט כולל השקעה של 120 מיליון יואן, משתרע על שטח של 40 דונם, ובעל כושר ייצור שנתי של 6,000 טון אבקת ליטוש לשני קווי ייצור אוטומטיים לחלוטין. ההערכה היא שערך התפוקה יעלה על 180 מיליון יואן והרווח יעלה על 6 מיליון יואן. "זה גם מסמן את הכניסה הרשמית של חומרי ליטוש עפר ​​נדירים היוקרתיים של ארצי לשוק הבינלאומי, ואזור המכירות התרחב לארצות הברית, יפן, דרום קוריאה, מצרים, מלזיה ומדינות נוספות". אמר ג'אנג הייג'ון.

קישור למאמר זה: חומרי הליטוש של ארצי זקוקים בדחיפות לחדשנות טכנולוגית היא המלך

הצהרה מחודשת: אם אין הוראות מיוחדות, כל המאמרים באתר זה מקוריים. אנא ציין את המקור להדפסה חוזרת: https: //www.cncmachiningptj.com/，thanks！

PTJ® מספק מגוון רחב של דיוק מותאם אישית עיבוד cnc סין services.ISO 9001: 2015 ו- AS-9100 מוסמכים. דיוק מהיר 3, 4 ו -5 צירים עיבוד CNC שירותים כולל כרסום, מתכת לפי מפרט הלקוח, מסוגלים לחלקים מתכתיים ופלסטיים במכונה עם סובלנות +/- 0.005 מ"מ. שירותים משניים כוללים CNC וטחינה שחיקה, חיתוך לייזר,הִתעַמְלוּת,למות הליהוק, מתכת ו הַטבָּעָה. מתן אבות טיפוס, הפקות ייצור מלאות, תמיכה טכנית ובדיקה מלאה רכב, תעופה וחלל, עובש ומתקן, תאורת led,רפואי, אופניים, וצרכנים אלקטרוניקה תעשיות. אספקה ​​בזמן. ספר לנו קצת על תקציב הפרויקט שלך וזמן המסירה הצפוי. אנו אסטרטגיה איתך לספק את השירותים המשתלמים ביותר שיעזרו לך להגיע ליעד שלך, ברוך הבא לפנות אלינו ( sales@pintejin.com ) ישירות לפרויקט החדש שלך.